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ハンドリング装置１００の制御部１０１は、ハンドリングユニット１０や上記圧力調整器Ｐ１，Ｐ２及び開閉弁Ｖ１，Ｖ２とともに、各所の駆動部Ｍ１、Ｍ２、・・・、Ｍｎ（ｎは２以上の自然数）を制御する。制御部１０１は、上記圧力調整器Ｐ１，Ｐ２に制御信号Ｒｐ１，Ｒｐ２を出力することによって流体の供給圧や排気圧を制御する。また、制御部１０１は、開閉弁Ｖ１，Ｖ２に制御信号Ｒｖ１，Ｒｖ２を出力することによって流体の供給と停止、排気の開始と終了を制御する。さらに、制御部１０１は、上記駆動部Ｍ１、Ｍ２、・・・、Ｍｎに設置された位置検出器からの検出信号Ｓｍ１，Ｓｍ２，・・・，Ｓｍｎを受けるとともに、上記駆動部Ｍ１、Ｍ２、・・・、Ｍｎに対して制御信号Ｒｍ１，Ｒｍ２，・・・，Ｒｍｎを出力して、それらの作動状態を制御する。なお、上記駆動部Ｍ１、Ｍ２、・・・、Ｍｎには、例えば、ハンドリングユニット１０の位置及び姿勢を制御するための、１又は複数のロボットアームの駆動機構などといったユニット駆動系が含まれる。

図６には、第５実施形態のハンドリングユニット５０の縦断面図（ａ）、平面図（ｂ）及び正面図（ｃ）を示す。この第５実施形態では、第１実施形態と同様のコレット５１、ハウジング５２及び作動体５３を備え、第１実施形態と同様のコネクタ５８を介して流体供給口５２ｐから流体がシリンダ構造５２ｓ内に供給可能になっている。このため、第１～第４実施形態と同様に構成される部分の説明は省略する。ただし、本実施形態は、ハウジング５２が、平坦面５２ｆを備えた外面構造を有する点で第１実施形態と異なる。平坦面５２ｆは、図示例では上面と下面の２面に形成されているが、いずれか一方の面にのみ形成されていてもよい。平坦面５２ｆを設け、この平坦面５２ｆをロボットアーム先端部の取付面に装着する際に、ハンドリングユニット５０を取付し易くなるとともに、その取付姿勢の高精度化や取付剛性の強化を図ることができる。

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図１０は、ハンドリングユニット１０のコレット１１のフィンガー部１１ｃによって把持対象物Ｐを把持し、他の場所へ移動させる際の様子を示す説明図である。なお、フィンガー部１１ｃの形状は把持対象物Ｐの形状や設置場所に合わせて、第３実施形態のフィンガー部３１ｃに近似した形状としてある。ここで、上記の制御部１０１によりロボットアームの駆動機構などのユニット駆動系を制御することによって、ハンドリングユニット１０の位置及び姿勢を制御し、フィンガー部１１ｃを把持対象物Ｐに対する適正な位置及び姿勢とし、その後、上記開閉弁Ｖ１を開けて流体をシリンダ構造１２ｓ内に供給し、作動体１３を作動させることにより、フィンガー部１１ｃを非把持状態から把持状態へ移行させる。

ハンドリングユニット１０には、制御部１０１に検出信号を出力する種々のセンサを設置することができる。例えば、前述の第４実施形態の位置検出器４９と同様に、作動体１３の軸線方向の位置を検出し、検出信号Ｓｓを出力する作動体位置検出器Ｓ１と、コレット１１の軸線方向の位置を検出し、検出信号Ｓｃを出力するコレット位置検出器Ｓ２と、コレット１１の複数の弾性変形部１１ｂ又はフィンガー部１１ｃの各々において、弾性変形量やこれに伴う歪に基づく電圧、電流などをそれぞれ検出し、検出信号Ｓｄを出力する把持態様検出器Ｓ３～Ｓ５と、複数のフィンガー部１１ｃの少なくとも一つに設置され、検出信号Ｓｔを出力する熱電対などの把持対象物Ｐの温度を検出する温度検出器や、導電率を検出する抵抗センサ、把持対象物Ｐの振動を検出する振動センサなどの、把持対象物の各種の物理量を検出する把持対象物検出器Ｓ６とを設けることができる。ここで、上記把持態様検出器Ｓ３～Ｓ５は、各弾性変形部１１ｂやフィンガー部１１ｃに対応するそれぞれの検出信号Ｓｄを出力するものであってもよく、また、検出信号Ｓｄとして、複数の弾性変形部１１ｂやフィンガー部１１ｃの間のセンサ値の差や比を出力するものであってもよい。

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各弾性変形部１１ｂの軸線方向先端側には、フィンガー部１１ｃが接続される。フィンガー部１１ｃは軸線１０ｘに向いた把持面１１ｇを備える。なお、図示例では、把持面１１ｇは、軸線１０ｘを中心とする円弧筒状の内周面（中心角が１２０度弱）で構成されるが、これに限定されず、図示しない把持対象物に対応するものであれば、楕円状、平坦状などの任意の内面形状であってもよい。フィンガー部１１ｃの外面上には、軸線方向先端側に向いた係止段部１１ｄが設けられるとともに、この係止段部１１ｄの軸線１０ｘの方向の基端側（図示右側、以下、単に「軸線方向基端側」という。）には、軸線方向基端側に斜めに向いて傾斜した円錐面状の被動面１１ｔが、各弾性変形部１１ｂ及びフィンガー部１１ｃ毎にそれぞれ設けられる。さらに、この被動面１１ｔの一部（一つ）には、軸線１０ｘに沿って延びる、外周側に開放された規制溝１１ｐが設けられる。

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特開平１１－２８１６４９号公報 実用新案登録第２６０５０３８号公報 特許文献１に記載の蓋把持装置では、コレットチャックとこれを駆動するソレノイドが軸方向に配列されるため、把持部と駆動系の一体性が低いために全体が大型化するという問題がある。また、コレットチャックを軸方向に作動させることで把持動作を行うため、コレットの位置精度を保ちにくいことから、把持部の把持精度や繰り返し精度が低下しやすいという問題もある。

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